arXiv:2110.05787v2 [physics.optics] 2022 年 8 月 15 日__

arXiv:2110.05787v2 [physics.optics] 2022 年 8 月 15 日

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arXiv:2110.05787v2 [physics.optics] 2022 年 8 月 15 日

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摘要光学微波动能电感探测器 (MKID) 的典型材料是金属，在可见光和近红外光中的自然吸收率约为 30-50%。为了达到高吸收效率 (90-100%)，必须将 KID 嵌入光学堆栈中。我们展示了一种针对 60 nm TiN 薄膜的光学堆栈设计。光学堆栈被建模为传输线的各段，其中每个段的参数与各层的光学特性有关。我们从光谱椭圆偏振测量中推导出 TiN 薄膜的复介电常数。设计的光学堆栈针对宽带吸收进行了优化，从顶部（照明侧）到底部由以下组成：85 nm SiO 2、60 nm TiN、23 nm SiO 2 和 100 nm 厚的 Al 镜。我们展示了该堆栈的模型吸收和反射，其在 400 nm 至 1550 nm 范围内的吸收率 > 80%，在 500 nm 至 800 nm 范围内的吸收率接近 1%。我们使用商用分光光度计测量了该堆栈的透射和反射。结果与模型非常吻合。

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